中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9350658 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、コストと生産性を向上させる高性能エッチャー/アッシャー装置です。この半導体デバイス製造システムは、あらゆる電子製品のための複雑な微細回路を作成する製造プロセスの不可欠な部分です。高度なコンピュータシミュレーション技術と分析化学技術を組み合わせて、使用される温度、圧力、ガスを正確に制御しながら、材料の層をエッチングまたは「灰」します。このユニットは、デバイスの均一性を確保し、デバイスの劣化を低減し、本番ダウンタイムを最小限に抑えるさまざまな機能を提供します。高度なリーチ周波数電源により、エッチングやアッシング時の再現性に優れ、大量生産に最適です。さらに、高解像度センサはプロセスの大気を監視し、エッチングまたはアッシング処理中に最適なガス組成を維持します。その制御はまたガスの流れを最小限に抑え、よりクリーンな処理雰囲気のために空気中の粒子を散布します。そのユニークなコンピュータアルゴリズムは、スムーズなデバイス層のための材料エッチング/灰時間と現実的なエッチング/灰の結果を制御することにより、そのパフォーマンスをさらに向上させます。TEL 8500マシンは、マルチコンフィギュレーション可能なエッチャー/アッシャーワークセルを使用して、お客様の特定のニーズに合わせて簡単に構成できます。お客様は、異なるウエハを加工するために変更することができる4から16のワークセルを選択することができます。このツールには、レーザー光学を使用してウェーハの歪みを検出し、自動的に拒否する新しいプリスキャン機能もあります。特許出願中の非接触センタリングデバイスにより、ウェーハを損傷することなく素早く実装できます。TEL TE 8500アセットには、いくつかのイノベーションオプションと機能を備えたモジュラー設計があり、非常に適応性が高く柔軟性があります。他のシステムと同期して、完全に統合された製造ラインを提供し、スループットと生産歩留まりを向上させることができます。また、Etcher/Asher Software （EAS）を使用して、必要に応じてプロセスを監視し、送り速度、温度、およびその他のパラメータを調整することもできます。EASは、キーパラメータの記録、ウェハマッピング、PEEP処理、ゾーン調整ごとのレシピ生成機能も提供します。TOKYO ELECTRON TE 8500モデルは、最新の技術を使用して、高速で安全かつ正確にウェーハを処理します。その自動安全機能には、いくつかのフェイルセーフアラーム、読みやすいグラフィカルディスプレイ、詳細なトラブルシューティングガイドで技術的な問題を診断する機能が含まれています。また、入出力デバイス、コンベア、環境コントローラなど、幅広いオプションアクセサリーを提供し、生産能力をさらに拡大しています。TE 8500は、比類のない柔軟性と性能を提供する信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャー装置です。
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