中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9290495 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500
ID: 9290495
ウェーハサイズ: 8"
Dry etchers, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、高度なエッチングおよびアッシング処理用に設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、デバイスの製造や高品質な製品の維持などのIC製造プロセスに不可欠です。このシステムは、半導体ウェーハの正確かつ正確なエッチングとアッシングを保証するための幅広い機能と機能を備えています。このユニットは、高温精密クォーツチューブと高度な磁気ミラー機械(MMS)を備えており、正確なウェーハ処理を保証します。このツールは、高度な水晶チューブ設計と高品質のMMS光学を利用して、高速で反復可能なエッチングを提供します。幅広いウエハサイズ(76。2mm〜300mm)にも対応可能です。これは、プロセスの柔軟性と高スループットを実現するのに理想的です。また、LEDエミッションモニターを搭載し、プロセスを継続的に監視し、正確なエッチングを実現しています。このモニタは、プロセス制御の最大40%の増加を提供します。また、デバイスウエハの高品質処理に必要な低温センサを備えた高精度の裏面ウェハ温度制御装置を備えています。このシステムは、操作を容易にするために、コントロールパネルとユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスと統合されています。このパネルは、ユニット操作を制御および監視するための簡単で直感的な方法を提供します。さらに、プロセスの問題の早期警告を提供する高度なアラームシステムも利用できます。さらに、このマシンは、HMDSフリーの材料やアプリケーションを使用するのに最適な特許取得済みのin-situクリーニング技術を備えています。また、このツールには高度なリフロー管理機能が搭載されており、均一なウェーハ温度を確保して品質を向上させます。結論として、TEL TE 8500はIC製造プロセスに不可欠なエッチャー/アッシャーです。高温高精度クォーツチューブ、先進磁気ミラーモデル(MMS)、 LEDエミッションモニター、高精度ウエハ温度制御装置、ユーザーフレンドリーなコントロールパネル、特許取得済みのin-situクリーニング技術など、幅広い機能を備えています。これらの機能はすべて、このシステムをエッチングとアッシングプロセスに最適です。
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