中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9265298 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、生産性と精度に優れた高度なエッチャー/アッシャーです。その高度なソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントは、高い再現性で高速で信頼性の高いプロセス結果を保証します。TEL TE 8500は、ユーザーエクスペリエンスと生産性を向上させる多くの機能と統合されています。4次元オートフォーカス装置を搭載しており、平面以外のパターン面に正確に焦点を当てることができ、高速かつ正確なウェーハ搬送用の連続オートローダを備えています。また、2段ウェハローディングとアンロードにも対応しています。TOKYO ELECTRON TE 8500には、手動と自動の2つの操作モードがあり、ユーザーは手動でプロセスステップを制御するか、希望するプロセスのレシピでマシンをプログラムすることができます。レシピ編集機能は、プロセスレシピパターンを最適化するための幅広いカスタマイズをユーザーに提供します。機械のプロセス制御システムは高度に自動化されています。エッチングソリューションの温度を測定・調整し、材料の堆積を正確に制御することができます。TE 8500には、パターン製品のアライメントと認識の両方のための正確な位置検出も含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、エネルギー密度の高いプラズマを利用した廃棄物の回収・処理が可能な総合廃棄物処理ユニットです。これにより、エッチングプロセスによって生成されるすべての廃棄物が安全に処分されます。最後に、TEL TE 8500はリモートモニタリングマシンと統合されており、ユーザーは8。4インチのタッチスクリーンLCDを介してマシンの設定をリモートで制御できます。TOKYO ELECTRON TE 8500は製造業の成長を高めるために設計された超近代的なエッチャー/アッシャーです。その高度な機能は、あらゆる仕事に最適なツールであり、ユーザーは無駄を最小限に抑え、最高の効率で高品質の結果を一貫して生み出すことができます。
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