中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9235829 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、エッチング工程を通じてウェーハ表面に材料を堆積・除去する半導体デバイス製造に使用されるエッチャー/アッシャーで、マニュアル方式に比べて高い精度を実現します。特にTEL TE 8500は、簡単なエッチングから複雑なシーケンシャルエッチングやアッシングまで、さまざまなプロセスで使用できる多機能ツールです。半導体デバイス製造に特に適した特徴がいくつかあります。まず、シーケンシャルエッチングに使用することができます。これにより、複数のエッチング工程を同じ工程で組み合わせることができ、各エッチング層を正確に制御することができ、高品質の製品が得られます。さらに、ガスや化学物質の供給能力も豊富で、エッチングやアッシングに必要な適切なガスや化学物質を選択することができます。TOKYO ELECTRON TE 8500の高精度システムは、エッチング深度を正確に制御し、精度は+/-0。1ミクロンで、複雑で複雑なエッチング処理を可能にします。透明度の高いクォーツチャンバーは、ウェーハの目視検査を可能にし、高いイオン電流は表面の均一なエッチングを保証します。さらに、ウェーハの損傷を最小限に抑え、欠陥を低減し、ターンアラウンドレートを高速化する高速クールダウン速度も備えています。さらに、温度制御システムは正確で安定した温度を維持することができ、エッチング結果をより一貫したものにすることができます。また、TE 8500は各種ウエハサイズにも対応しており、様々なプロセスアプリケーションでの使用に適した汎用性の高いツールとなっています。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、エッチングおよびアッシング処理において高い精度と精度を提供する信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、複雑で均一なプロセス結果を可能にします。高透明性クォーツチャンバー、高イオン電流、効率的な温度制御システム、および高速クールダウン機能により、半導体デバイスの製造に最適です。