中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9204238 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、半導体製造アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。TEL TE 8500は、優れた性能と信頼性を提供する高度なエッチング/アッシュ機器です。高精度と高生産性の両方の用途に使用できます。システムは、均一性、速度、精度の良いレベルを達成することができます。このユニットには、精密なエッチングと灰プロセスを提供するために、13nmの高解像度アルゴンイオンビーム源が装備されています。ソースは、エネルギースペクトルの広い範囲を持っており、プロセスパラメータの良好な制御を提供します。この機械には、高圧化学蒸着（HPCVD）および反応イオンエッチング（RIE）機能も含まれています。これにより、スループットを犠牲にすることなく、エッチング/アッシュプロセスを正確に制御できます。TOKYO ELECTRON TE 8500はまた、柔軟なハードウェア構成を提供します。このツールは、最大2つのエッチング/アッシングチャンバー、プロセス制御ユニット、およびモニタで構成できます。これにより、ユーザーは特定の生産ニーズに応じてアセットを簡単にカスタマイズできます。このモデルには、機器とユーザーの処理ライン間の通信のための高速入出力プロトコルも含まれています。プロセス制御の面では、このシステムは、エッチング/アッシュプロファイル、多数のプロセスステップ、マルチプロセスレシピ、アラームなどの機能を提供します。また、ウェーハアライメントと基板トラッキングも自動化されています。さらに、このマシンは、統合されたWebブラウザを介してリモートプロセス監視をサポートしています。安全性に関しては、このツールはCE、 ESD、および健康および安全規制などの多くの業界の安全基準に準拠しています。このアセットは、正確な診断と直接モデルコントロールで使いやすく、メンテナンスも簡単です。全体的に、TE 8500エッチャー/アッシャーは、高性能で高精度の信頼性と効率的な機器です。精密なエッチング/アッシング、アラームによる自動化されたプロセス制御、ウェーハアライメントとトラッキング機能、アクティブな安全対策を提供する半導体製造アプリケーションに使用されます。このシステムは高度にカスタマイズ可能で、使いやすく、多くの産業施設に理想的なソリューションです。