中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9195649 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、最も要求の厳しいアプリケーション向けに設計された、完全に自動化されたハイスループットエッチング/アッシャー装置です。精密プロセス制御と高速応答を提供するエッチャー/アッシャーは、最も要求の厳しい顧客の厳しいニーズを満たしています。TEL TE 8500は、3つの温度ゾーン、絶縁バルブ、排気ポート、および安全性と環境へのコンプライアンスのための3レベルのサーマルフィルターを備えたチャンバーボディで構成されています。このチャンバーはステンレス鋼から加工されており、前面開口部が大きく、サンプルの最大スループットを可能にします。二重ポンプは塩素およびフッ素イオンを制御しながらプロセス感度を提供します。このチャンバーには静電チャックが装備されており、幅広い基板に対応できます。TOKYO ELECTRON TE 8500は、プログラマブルなレシピとデータストレージを可能にするタッチスクリーンインターフェイスを備えています。このシステムは、最高の効率と精度で再現可能なエッチング操作をサポートします。マニュアル、エキスパートエッチング、マルチエッチングなど、いくつかの標準的な操作モードがあり、それぞれ異なるレベルの制御を提供します。たとえば、マルチエッチモードでは、エッチングパラメータを独立して制御でき、エッチング時間、温度、ガス組成のバリエーションを設定できます。TE 8500には、上下温度センサー、オゾンスクラバー、イオニッククリーンチャンバー、リモートモニタリングユニットなど、さまざまなオプションのアクセサリーが装備されています。さらに、エッチングチャンバーはデュアルペーンビューポートを備えており、エッチングまたはアッシングプロセスの内部を観察することができます。このビューポートは、波長分散X線スペクトルのオンラインおよびオフライン解析にも対応しています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500エッチャー/アッシャーは、薄膜薄膜やコーティング、ウェーハや半導体製造、リソグラフィなど、さまざまな用途で信頼性の高い再現性の高い結果を提供するよう設計されています。このマシンは、エッチングおよびアッシングパラメータを正確に制御し、メンテナンスがほとんどない反復可能な結果を得ることができます。