中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9192932 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、ウエハレベルの製造に精密かつ正確なエッチング結果を提供するために設計された最先端のプラズマエッチング装置です。このプラズマエッチャーは、複数のチャンバ、高度なプロセス制御およびオートメーションインターフェイスを備えており、セットアップとリモート制御が容易で、ウェーハステージを駆動するための固体リングスタイルのモーターを備えています。このシステムは、プロセス制御に優れた柔軟性を提供し、シングルウェーハとマルチウェーハの両方の処理をサポートします。このモデルは、優れた熱伝導性と均一性を提供する4面の窒化ホウ素コーティングチャンバーを備えた線形および放射状エッチングユニットを備えています。電動ウェーハステージにより、最大14個のウェーハを一度に均一にエッチングできます。ガス流量やチャック電力などの制御可能なプロセスパラメータをリアルタイムで監視・分析し、精密なエッチング環境と最適なエッチング結果を確保します。機械はまた調節可能なエッチング率および最大幅の検出のような特別な特徴を、装備することができます。TEL TE 8500は、湿式、乾式、アルキル、ラジカル、フッ素、塩素、ホウ素など、さまざまなエッチングオプションを提供します。圧力、温度、種の濃度、ガス流量、エッチング率などのプロセスのエキシジェンシーを調整して、最適なエッチング結果を得ることができます。このツールはまた、ウェハの過熱を防ぐために温度制御基板チャックを使用しています。TOKYO ELECTRON TE 8500は、最新のプロセス制御・監視機能を搭載し、エッチング精度と再現性を最大限に発揮します。手動のプロセス設定を保存し、簡単にセットアップすることができます。さらに、この資産は、最新の業界規制および安全ガイドラインに準拠するように設計されています。TE 8500はウェーハレベルの生産のための強力なプラズマエッチングツールです。その高度な機能は、優れたエッチング結果、均一性、および精密なプロセス制御を保証します。温度制御、種の濃度、ガス流量、ウェハステージのモーションコントロールなどの最先端の機能を備え、大量生産指向のアプリケーションに最適なエッチングソリューションです。