中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9144928 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、プラズマや化学エッチング工程を利用して半導体ウェーハ表面から材料をエッチング・除去し、極めて微細な構造を作る先進のエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、ウェーハ表面品質への影響を最小限に抑え、最高の動作効率で高精度のエッチング処理を可能にするように設計されています。TEL TE 8500は、さまざまなガス組成を使用してウェーハ上の異なる材料をエッチングするシングルソース可変質量リアクタント（VMR）ユニットを搭載しています。高温・低温の両方で動作するため、高感度な素材や薄い基板のエッチング、広いスループットのウェーハの加工が可能です。この機械はまた完全な直線および精密なエッチングプロセスを保障するために高度の基質土台の技術が装備されています。TOKYO ELECTRON TE 8500は、プロセスパラメータを正確かつ連続的に測定するセンサーを搭載しています。また、ウェーハの再配向ツールにより、正確なエッチング処理を実現するために必要な位置にウェーハを保持します。このアセットには、最小限の汚染レベルと最大の再現性を備えた高速エッチング処理用の高度な統合反応チャンバも付属しています。TE 8500は強力なPLCによって制御され、プロセスの完全な自動化を提供します。また、ツール管理ソフトウェアモジュールを内蔵しており、モデルの誤動作を検出します。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500には高度なデータ処理モジュールが搭載されています。全体として、TEL TE 8500は最先端のエッチャー/アッシャー装置であり、最小限の構造で最高の表面品質を最高速度で提供します。最高の運用効率と信頼性を確保し、あらゆる半導体製造ラインに最適なソリューションです。