中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9092956 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500
ID: 9092956
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Oxide etchers, 8", 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、象徴的なTEL社が開発したハイエンドエッチャー/アッシャーです。この高度装置はR&Dの実験室および生産ラインの使用のために合わせられ、一貫した結果を保障するために精密標準に造られます。基板サイズは9。4インチ×7インチ(238 x 177 mm)で、0〜200°Cの温度制御が可能です。それは4つの統合された処理部屋を特色にします;2つの独立した温度調整されたエッチング/灰の部屋、1つの乾燥したおよび1つのぬれた。オプションの14インチウェーハローダーを搭載し、より大きな製品に適しています。また、自動基板材料供給のための化学物流システムを備えています。また、プログラマブルオプション、自動プレート認識、直感的な操作コンソールを備えており、簡単なデータ入力が可能です。TEL TE 8500は、エッチングおよびアッシュチャンバーパラメータのリアルタイム制御を特徴とする複数の処理ステップを実行できます。それは生産ランニングのための反復可能な結果を保証するためにプロセスレシピの広い範囲を支えます。TOKYO ELECTRON TE 8500は、センサーで保護された操作モードや緊急シャットダウン機などの安全機能を内蔵し、最高の安全基準を満たすように設計されています。さらに、内蔵のパーティクルフィルターとオゾン除去ツールは、大気がユーザーと環境にとって安全であることを保証します。TE 8500はR&Dの実験室および生産ラインの使用のための信頼でき、特徴豊富なエッチャー/asherの理想です。一貫した結果を提供し、安全性を考慮して設計されており、長期保証が付属しているため、信頼性の高い高度なエッチャー/アッシャーをお探しのお客様に最適です。
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