中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9068919 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、高精度材料除去のために設計されたエッチャー/アッシャーです。金属、酸化物、窒化物、III-V材料などの基板から薄膜を高精度かつ高精度に除去するために使用されます。これは、ウエハステージとエッチング部品の動作を理解するクローズドループ装置をベースとしたプロセス制御により、超精密加工能力を実現しています。TEL TE 8500はまた、材料タイプごとに幅広いエッチングレシピで様々な材料を加工することができます。また、システム外からの汚染レベルを低減するためのエアシャワーを装備しています。TOKYO ELECTRON TE 8500は、完全自動供給、負荷、およびアンロード機能を備えています。この高度な機能により、ユニットはオペレータの関与を必要とせずにローディングとアンロードを最適化します。このエッチャー/アッシャーは、微細な制御と粗い制御の両方のためのエッチングプロセスを制御できるデュアルソースのマスフローコントローラで構成されています。これにより、メンテナンスを最小限に抑え、優れた精度と長期安定性を提供します。このマシンには、レシピ管理とデータ管理を支援する高度なレシピマネージャも含まれています。さらに、TE 8500は、高度なインターロックネットワークとノズル真空アセットを備えた柔軟な真空ツールを提供します。これにより、使用されているエッチングプロセスに応じて、圧力と流量を調整することができます。インターロックネットワークは、予期しないイベントが発生したときにマシンをシャットダウンする安全モデルで設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、高精度で高効率なエッチャー/アッシャーで、エッチング工程に対応できる機能が多数搭載されています。このシステムは、すべての必要な安全システムを備えており、生産アプリケーションに最適な高度な自動化機能を備えています。このユニットは耐久性と信頼性があり、精密エッチングプロセスに最適です。