中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9059245 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、大規模半導体製造プロセス向けに設計された先進的なエッチャー/アッシャー装置です。高いスループットと精度で、ウェーハと個々のダイサイズの両方でサンプルをエッチングまたはアッシングすることができます。このシステムは、高度な基板ホルダー設計と高効率のチャンバー加熱ユニットを統合し、エッチング工程全体にわたって正確な温度制御を可能にします。このマシンは、表面の活性化と洗浄を改善するために特別に設計されたプラズマだけでなく、エッチング化学物質の広い範囲をサポートしています。TEL TE 8500には、レーザー干渉計ベースの高解像度ウェーハプロファイリングツールが搭載されており、ナノメータスケールのパターン制御が可能です。メインチャンバーは、ウェーハの平坦性と粒子欠陥を最小限に抑え、最大200mmのウェーハで優れたエッチング均一性を実現します。ウェーハの自動供給と、クリーンなデカム設定、高度な排気システムにより、エッチング製品の汚染を防ぎます。東京エレクトロンTE 8500は、エッチング工程の正確なモニタリングに加え、飛行時間の質量分析やイオンフラックスゲージなどのプロセス制御機能を統合しています。プロトタイプと生産の両方をサポートする、真に汎用性の高いエッチング資産です。