中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9052719 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。各種基板に高品質なパターンを正確にエッチングすることが可能です。特に、SOI、 MOSFET、 BiCMOS技術などの半導体アプリケーションをサポートするように設計されています。TEL TE 8500は、高度なコンピュータ制御システムを搭載し、大型4インチウェーハから小型8インチウェーハまで精密エッチングが可能です。高度なクロスフィールドイメージングにより、優れた深度精度で高精度なエッチングパターンを生成できます。エッチング機構は、ヘリウムベースの技術を使用しており、厚みのバリエーションを最小限に抑えた高エッチングが可能です。東京エレクトロンTE 8500は、ヘリウムエッチング機能に加え、先進的なドライエッチングチャンバーも内蔵しています。このチャンバーは複雑なパターンをエッチングすることができ、アルゴン、塩素、臭素、フッ素などのエッチングガスを幅広く取り揃えています。エッチング機構には、特殊な石英エッチングチャンバーも装備しており、難易度の高い基板上の高解像度パターンを作成するのに最適です。さらに、TE 8500にはオンボードレシピエディタがあり、ユーザーはカスタムエッチングレシピを作成できます。この機能は、複雑なエッチングジョブを作成し、特定のプロジェクト要件を満たすためにエッチングプロセスをカスタマイズするのに特に役立ちます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、高度な安全性と環境機能を提供します。この機械にユーザー、制御用具およびウェーハを可能な害から保護する複数の作り付けの安全インターロックがあります。この資産には、有害な粒子を職場に放出する危険なエッチングプロセスを排除する統合エアスクラバーモデルも含まれています。結論として、TEL TE 8500は高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。この装置は、高度なエッチング技術、複数のエッチング技術、および特別な安全性と環境機能を備えた優れた精密エッチング機能を提供します。
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