中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293811575 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、基材を素早く正確にエッチング・アッシュするように設計された高精度、フル機能のエッチャー/アッシャーです。このマシンは、静電チャックの統合サポート、高度なプロセス制御機能、高精度プラズマ源、堅牢なエッチング/アッシングプロセスなど、さまざまな機能を備えています。TEL TE 8500静電チャック（ESC）は、加工中に基板を固定するために、正確で調整可能な正確な真空ホールドを提供します。Escは、基板の清潔性を確保するためにmmHg-air-proofであり、基板材料とのESCの互換性が正確に設定されています。さらに、ESCはふたによって清潔さを維持し、空気および排出からの干渉を減らすためにカバーすることができます。TOKYO ELECTRON TE 8500の高度なプロセス制御機能により、エッチングと灰の設定を正確に調整し、あらゆる種類の材料で最適なパフォーマンスを実現します。高度なソフトウェアベースの制御システムとパラメータを使用することで、このエッチャー/アッシャーは簡単かつ迅速に設定を調整し、最適なエッチング/灰の結果を得ることができます。付属のプロセス制御システムは、すべてのプロセスを監視および記録し、オペレータに必要な瞬間にデータへの迅速なアクセスを提供します。TE 8500には、精密なエッチングと灰の設定と結果を得るための高精度プラズマ源も含まれています。統合された磁気コイルと組み合わせて使用されるプラズマ源は、プラズマのイオン化を非常に正確に制御し、エッチングと灰の設定を達成するために使用する方法を可能にします。さらに、制限シャットオフは、プラズマ場の形状を維持しながら、偶発的な反応から保護します。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、効率的で高精度な結果を特徴とする堅牢なエッチング/アッシング処理を提供します。内蔵の電気制御システムは、エッチングと灰の両方の動作に繰り返し可能な性能を提供し、プラズマフィールドの優れた均一性は、エッチング/灰の精度を確保するのに役立ちます。TEL TE 8500は、エッチングしにくい素材や、灰になりにくい素材に特化したエッチング/アッシング加工も施しています。TOKYO ELECTRON TE 8500は、精密かつ効率的なエッチング/アッシング機能を提供する高度なフル機能のエッチャー/アッシャーです。一体型の静電チャックサポート、高度なプロセス制御機能、高精度プラズマソース、堅牢なエッチング/アッシングプロセスにより、このマシンは優れたエッチングと灰の結果を達成するための理想的な選択肢です。