中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293764225 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、半導体および関連産業向けに精密なエッチング、成膜、ドーピングプロセスを可能にする高度なエッチャー/アッシャーです。この装置は堅牢なDEプラットフォーム(Directed Energy)上に構築されており、信頼性と再現性に優れたプロセス結果を提供します。それは装置の安定性、プロセス制御および収穫の高度を提供します。TEL TE 8500は、効率と柔軟性のために設計されています。マルチツール設計により、多数の構成にわたって高いスループットと高精度を実現します。そのマルチガルバノメーター設計は、精密エッチングまたはアッシング用途に不可欠なビーム偏向精度を向上させます。高度な自動基板位置決めシステムにより、最も複雑なデバイスの輪郭まで正確に到達できます。TOKYO ELECTRON TE 8500には、リアルタイムプロセスモニタリングユニットが搭載されており、プロセス欠陥の検出と正確な診断を支援し、欠陥の排除と歩留まりの改善を可能にします。Web対応のソフトウェアマシンは、いつでもどこでも主要なプロセス情報にアクセスできます。TE 8500は、幅広い用途に対応できるように設計されています。例えば、MEMS、半導体、オプトエレクトロニクス、ナノテクノロジー構造のエッチングやアッシングに使用できます。また、TSV(シリコンビアを介した)構造のエッチングや3D構造のアッシングにも使用できます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、アプリケーション間で信頼性と再現性を提供します。高度なプロセス制御アルゴリズム、タイトプロセスパラメータ、高速ランピングにより、プロセスの一貫性を維持し、信頼性の高い結果を提供します。急速なプリウェットおよびポストウェット機能により、プロセスの安定性が向上します。TEL TE 8500は使いやすく、迅速なセットアップと操作が可能です。その直感的なタッチスクリーンユーザーインターフェイスは理解しやすく、使いやすいです。強力なプロセスウィザードにより、プロセスの設定、カスタマイズ、最適化が簡単に行えます。このツールは、電子インターロック、緊急停止ボタンなど、オペレータの安全を確保するためのいくつかの安全機能も提供しています。TOKYO ELECTRON TE 8500は、多くのアプリケーションで高いスループットと精度のプロセス結果を得るために設計された、使いやすい洗練されたエッチャー/アッシャーです。高度なプロセス制御と監視機能により、信頼性と再現性の高いプロセスを保証し、直感的なユーザーインターフェイスにより使いやすさを保証します。
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