中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758442 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 from TELは最先端のエッチャー/アッシャーツールです。ウェーハ表面でも高精度で幅広いプロセスを生成するように設計された高度に自動化された装置です。これにより、高度なフォトニクスやMEMS製造に最適です。TEL TE 8500は、完全に統合された環境を利用して、4つの強化基板付着を実現し、その結果、オーバーレイの再現性とマルチステップ処理が向上しました。このエッチャー/アッシャーには、標準的なアプリケーションから大規模なアプリケーションまで、さまざまなウエハサイズに対応できる高度なロードロックシステムも組み込まれています。TOKYO ELECTRON TE 8500には、ロープロファイルロボットを提供するステルステクノロジーなどの技術が組み込まれています。また、高低温度ウェハトランスファーと超精密温度制御を統合し、信頼性の高いエッチングを実現しています。このツールは、高精度のパルスエッチング時間を最大10 µSの精度まで管理することができます。このツールは、密度フィードバック制御に基づいて継続的なエッチング改善サイクルを提供します。TE 8500は、超高精度の連続チャンバークリーン性能を提供し、慣性モジュールを装備し、また、スクラバーとデガ機能を提供します。さまざまな用途に対応したウェハマップや冗長ウェハ位置検出・処理ユニットを立体的に識別することができます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、独自のガス抽象化機械と、レシピの編集と実行を可能にする一連のユーザーインターフェースを使用して、優れた再現性と安定性を提供します。TEL TE 8500は、統合とイオンビーム技術のための特定のハードウェアを搭載し、ナノメートルレベルで幅広いプロセスウィンドウと高精度の解像度を提供します。この特殊エッチャー/アッシャーツールは、半導体製造に関連する幅広い複雑なプロセスを製造するための優れた選択肢です。高精度で、さまざまな製造アプリケーションに再現性と安定性を提供し、標準および大規模なプロジェクトを処理することができます。TOKYO ELECTRON TE 8500は、高精度オートメーション技術を採用し、最も要求の厳しいアプリケーションに最適です。