中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758438 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、エッチング用途に特化したエッチャー/アッシャーです。エッチャーは、大型ウエハ生産用のハイスループットを特長とするコンパクトなユニットです。直径6インチまでの幅広いウェーハに対応できる真空チャンバーで構成されています。このチャンバーには、高い生産性と優れたエッチング性能を実現するために最適化された高度なガス供給およびエッチング装置が含まれています。最先端の真空システムは0。01-10-4 mbarの実行可能な圧力範囲の優秀な真空の性能を保障し、注射可能なガスは環境の空気からSF6のような処理された化学薬品に変えることができます。TEL TE 8500は、様々な基板をエッチングする際に高性能で再現性のある信頼性の高い設計です。このエッチャーに存在する高出力の蒸着ユニットは、エッチング工程の品質を長期にわたって維持することを保証します。自動クリーニングツールも備えており、エッチング資産を維持し、清潔に保つのに役立ちます。エッチャーには自己診断モデルが内蔵されており、異常を検出し、必要な調整についてオペレーターに通知することができます。さらに、エッチャーは、エッチング結果を最適化するためにチャンバーに注入された圧力、温度、ガス量を自動的に制御することができます。また、この装置は信頼性が高く、効率的で制御されたエッチングプロセスを可能にするレーザー統合機能を提供します。また、システムのコントローラは使いやすいインターフェースを確保し、オペレータは簡単にエッチング処理を制御し、リアルタイムで監視することができます。さらに、Etcherはデータロギングユニットを備えているため、将来の参照用にプロセスデータを保存できます。TOKYO ELECTRON TE 8500は、大型ウエハの生産と優れたプロセス制御を可能にする高度なエッチャーです。信頼できる設計、高度のガス配達機械、作り付けの自己診断用具およびレーザーの統合の機能はエッチング・プロセスが安全、有効であることを保障します。このアセットには、将来の参照用に正確なプロセス制御とデータストレージを可能にするデータロギングモデルも備えています。