中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293657837 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、主に電子機器の製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。エッチング、アッシング、ドライエッチング、フォトレジスト除去など、専門性の高い作業を組み合わせた高度な多機能機器です。このシステムは、エッチャーのさまざまな機能を単一のデバイスに統合するさまざまなコンポーネントで構成されています。TEL TE 8500で最も重要なコンポーネントは、ガスフローコントローラ、RF電源モジュール、リモートインターフェイスです。これらのコンポーネントはすべて、信頼性の高いエッチングとクリーニングプロセスを提供するために協力しています。ガスフローコントローラは、チャンバーへの様々なガスの流れを制御するために使用されます。RF電源は、プラズマ形成に使用される電力を供給するために使用されます。さらに、リモートインターフェイスを使用して、エッチプロセスのパラメータを監視および調整できます。TOKYO ELECTRON TE 8500には、一貫した信頼性の高いエッチングプロセスを実現する自動ガス制御ユニットがあります。これは、安定したプラズマを作るために使用されるアルゴン、ヘリウム、またはクリプトンなどの不活性ガスの流れを制御するために使用できます。さらに、機械は自動的にRF力およびガスの流動度を制御するようにプログラムすることができます。TE 8500のもう一つの重要な特徴は、Open Loop Process Controlです。これにより、etcやashing中にガスの流れやその他のパラメータを動的に調整することができ、正確で信頼性の高いエッチングとアッシングを可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、高度な診断・温度制御システムも採用しています。それは自動的に検出し、一貫した、信頼できるプロセス結果を提供する資産の過熱を防ぐことができます。このマシンはまた、非常に互換性があり、単一のウェーハツール、バッチプロセス機器、ベンチトップ型システムなどの複数のタイプのウェーハ処理装置と統合することができます。これにより、幅広い業界、学術および研究環境にとって理想的な選択肢となります。全体的に、TEL TE 8500は、信頼性が高く、正確で、繰り返し可能なエッチングとアッシング性能を提供する洗練されたエッチャー/アッシャーです。多種多様なアプリケーションに使用でき、高度な機能により安定した一貫したエッチング処理が可能です。