中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293643115 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500
ID: 293643115
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1991
Dry etcher, 8" 1991 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、半導体産業に特化した最先端のエッチャーです。この装置は、半導体製造のエッチング工程を管理するのに理想的な機能を備えています。システムは、処理室、中型電源、排気ユニットの3つの主要コンポーネントで構成されています。TEL TE 8500の加工室にはさまざまな機能が搭載されており、一貫した正確なエッチング結果を提供します。温度制御された反応チャンバーと、イオン強度を正確に制御するための中間電源が含まれています。チャンバー内のガス分布を正確に制御することで、部品のサイズや形状に関係なく、エッチングの高い均一性を保証します。TOKYO ELECTRON TE 8500で使用される中型電源は、エッチング工程を正確に制御し、エッチング部品の最大精度と最小偏差を実現します。超高周波ジェネレータ、RFアンテナマシン、RFプラズマエキサイタを搭載しています。これらのコンポーネントは、エッチングガスとチャンバーを正確な温度とエッチング速度で保持することを保証します。TE 8500はまた、すべての危険なプロセス生成粒子や廃棄物を効率的に除去するように設計された排気ツールを備えています。この資産は、微粒子やその他の汚染物質を排除し、クリーンで残留物のない部品だけが製造されるようにします。エキゾーストモデルは、エッチング工程で使用する材料の量を削減するのにも役立ち、コスト削減と環境面でのメリットをもたらします。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は使いやすく、使いやすいソフトウェアと直感的なユーザーインターフェースを提供するように設計されています。このシステムは、同じプラットフォームから複数のエッチング操作を実行できるため、プロセスの効率が向上し、不要な生産ステップの必要性が低減されます。また、エッチングプロセスのプログラミングと監視のためのさまざまなオプションを提供しており、ユーザーは特定の要件に合わせてエッチングプロセスをカスタマイズすることができます。
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