中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293608639 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、産業用途向けの高度なエッチャー/アッシャーです。これは、優れたエッチング性能を提供し、マルチレベルのメサ、ゲート構造、コンデンサ、およびその他の重要なコンポーネントを作成するために使用されるハイエンドのオープンループ装置（OLS）です。OLSとして、リアルタイムエッチング監視と自動プロセス最適化を特徴とする高度なプロセス制御により、安定したエッチング条件を自律的に維持します。TEL TE 8500は、空気駆動式アクティブシャッターシステムを使用して、ソースプラズマと動作環境を分離します。クロスコンタミネーションを効果的に最小限に抑え、エッチングの選択性と再現性を高めます。高度な高周波（HF）ソースプラズマ発生器は、優れた制御性と柔軟性を提供し、微調整と小さな機能やMEMSコンポーネントの均一エッチングを可能にします。TOKYO ELECTRON TE 8500は、 、 、 Ar、 、 He、 、 、 など多種多様な用途に対応したプラズマエッチングを可能にする、マルチガス導入によるスケーラブルなプロセスチャンバーも提供しています。自動レシピコントロールユニットを使用して動作し、ユーザーの介入なしに再現性、信頼性、安全なエッチングを可能にするとともに、リアルタイム編集機を使用して変更を即座に行うことができます。安全性の面では、TE 8500は関連する国際規格に準拠しており、高真空カットオフ、サーマルシャットダウン、過電流保護などの内蔵保護メカニズムを誇っています。また、さまざまなアクセサリとオプションのローダー/アンローダーツールを備えており、利便性とユーザーケアが向上します。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、ファインパターンやMEMS部品の精密エッチングに最適で、現在の市場における他のエッチャーやアッシャーよりも高い精度、再現性、柔軟性を提供します。