中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293608638 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500は、金属、ポリシリコン、ポリメタル表面構造など、さまざまな基板上の材料を除去するために設計されたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、堅牢な物理蒸着（PVD）ソースとプロセス制御パラメータの包括的な選択を利用して、幅広い用途にわたって正確で反復可能な結果を提供することができます。TEL TE 8500は、独立して制御されたソースと基板位置と補助モジュールへの便利なアクセスを備えた簡易チャンバー設計を特徴としています。幅広いプロセスプラズマ源により、乾燥化学と湿潤化学の両方のオプションを含む高度な分析エッチングを作成するために必要な柔軟性を提供します。このユニットの高度な温度制御装置は、温度制御されたエッチング・プロセスを可能にし、デバイスのパフォーマンスと生産スループットを向上させます。TOKYO ELECTRON TE 8500は、複雑なレイアウトのエッチングに最適なツールで、優れたプロセス制御と再現性のある結果を生産アプリケーションに提供します。このエッチャー/アッシャー資産は、研究開発分野のさまざまな基板の精密エッチングに最適です。