中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9293867 を販売中

TEL TE 8500 （S） ATCエッチャーは、パターン転送やパターン定義に使用される微細加工装置です。TE 8500シリーズは、さまざまな半導体技術アプリケーション向けに設計された最先端の機器です。このシステムは超低温で動作し、微細な機能切断機能を備えているため、所有コストが低くなります。その酸化および平面化機能により、お客様はより正確かつ確実にマイクロスケールおよびナノスケールの特徴を定義することができます。TE 8500エッチャーは、エッチングおよび材料除去のパラメータを自動的に最適化する高度な自動チューニングコントローラ（ATC）を備えています。また、表面粗さを精製するために使用できる化学変調プロセスなど、さまざまな動作モードを提供しています。TE 8500制御ソフトウェアは、グラフィックユーザーインターフェイスと統合診断機能を備えており、ユニットのチューニングと操作を簡素化します。このマシンは、エッチングされたウェーハ表面と平面化されたウェーハ表面の両方の時間とエネルギー履歴を生成します。TE 8500精密ロードロックは、処理されるウェーハにクリーンで非汚染環境を提供し、ウェーハエッジとウェーハ処理チャンバ間のスムーズな転送を提供します。TE 8500エッチャーの独自の安全機能は、イオンソース洗浄機能を内蔵しています。これにより、エッチング薬品と蒸着ラインが安全で、粒子汚染から解放され、より良い、より信頼性の高いエッチング処理が可能になります。TE 8500は、1.2M、 2M、 3Mプラットフォームで提供されています。すべてのプラットフォームには、コグネックスの統合ビジョンシステムが搭載されており、ウェーハの自動検出とアライメントが可能です。2Mおよび3Mプラットフォームは、重要な寸法を測定する機能も備えています。全体として、TE 8500 （S） ATCエッチャーは、微細加工および半導体技術に最適です。コンパクトなサイズ、低コストのオーナーシップ、高度な機能により、生産プロセスを最適化したいお客様に最適です。