中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148200 を販売中

TEL TE 8500 （S） ATCは、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）およびその他の小型で敏感な部品の製造用に設計された先進的なエッチング装置です。プラズマエッチングチャンバーの業界標準であり、精度とスループットで有名です。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATCは、最大4つのサブチャンバーを内蔵したプロセスチャンバーを備えたマルチチャンバーシステムです。これには、部品の損傷を最小限に抑えながら、厳密なプロセス制御と再現性を実現する高度な機能が多数搭載されています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATCには、バキュームタイトガスボックス付きのガス分配ユニットが搭載されており、機械内のガスのバックフィリングと混合、外部からのガス供給によりガスの安定性を確保しています。これにより、反復可能なフィルム特性とエッチング率を確保できます。エッチング処理は、通常、プラズマを作成するために電場を適用し、プラズマを部品表面に向けることによって機能します。TEL TE 8500 （S） ATCには、精密な温度・圧力制御を可能にするセンサを搭載したアッパーチャックも内蔵しており、信頼性と再現性の高いエッチング結果を提供します。上部チャックは、部品全体の均一な温度を確保するように設計されており、平坦性は、基板に対して1〜3ミクロン、両面ウェーハに対して4〜10ミクロンの公差まで時間をかけて維持されます。上部チャック内のウェハレベルのクリーニングツールは、粒子の蓄積を最小限に抑えるだけでなく、特徴選択的な材料にも役立ちます。また、トーキョーエレクトロンTE 8500 （S） ATCは、チャンバとロードロック間の効率的なウェーハ移動を可能にするセルフアライニングローダーを備えています。基板への怪我や汚染を防止します。さらに安全性を高めるために、必要に応じてプロセスを自動的にシャットダウンすることができる多数の組み込みの安全機能が装備されています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATCは、半導体メーカーの要求を満たす最先端のエッチャー/アッシャーです。チャンバーは、部品の損傷を最小限に抑えて、正確で再現性のあるエッチング結果を提供することができます。このモデルはまた、ユーザーの生産効率と安全性を保証します。高度な機能と安全機能の組み合わせにより、TEL TE 8500 （S） ATCは大量生産に最適です。