中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148198 を販売中

TEL TE 8500 （S） ATCは、半導体製造で使用される高度なエッチャー/アッシャーです。幅広いアプリケーションに対応できるように設計された、次世代のハイスループット、高性能エッチャー/アッシャーです。この装置は、NPS （Neutral Particle Semiconductor Processing Module）とHigh-Electron Multi-Trap （MET）サブシステムを組み合わせて、エッチング特性の低エッチング率、均一性、および優れた品質を実現しています。NPSユニットは、回転する光放射電池（OEC）とマスアナライザで構成され、エッチングまたはアッシングのためのプロセスガス中の粒子を捕捉および分析します。この機械は異なったガスを使用でき、エッチングおよびashingプロセスの精密な制御そして調整を可能にします。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATCには、磁場ベースのエッチストップメカニズムが搭載されており、精度が高く、決定的かつ信頼性の高い操作が可能です。プロセスチャンバーは、低反応性処理ガスで効率的に動作するため、エッチング速度と均一性をより良く制御することができます。このアセットはまた、非常に大きな基板をサポートしているため、大規模な生産プロセスに最適です。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATCは、真空から高温まで幅広い基板温度に対応し、さまざまなプロセスに適しています。このモデルには、ユーザーフレンドリーなGUI、あらかじめプログラムされた最先端のツールシーケンス、エラー処理、高度なレシピ管理、ソフトウェアデバッグ機能など、さまざまなベルとホイッスルが装備されています。また、デジタル化された大型ディスプレイパネルを備えた強力な制御プラットフォームと、お客様固有の要件とプロセスを満たすように設計されたカスタマイズ可能なプロセスデータベースを備えています。さらに、TEL TE 8500 （S） ATCは、パフォーマンスの信頼性と保守性を念頭に設計されており、複数のチャンバー、プログラム可能なガスおよびチャンバー温度、オフラインのレシピ管理など、さまざまなオプションが用意されています。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S） ATCは、半導体製造業向けに設計された堅牢で高度なエッチャー/アッシャーです。モジュラー設計が特徴で、高スループットと高機能の均一性により、より効率的な生産プロセスサイクルを実現します。信頼性が高くカスタマイズ可能なこの装置は、さまざまな用途に適しており、生産能力を高めたい半導体企業に最適です。