中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC #9266608 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ESC
ID: 9266608
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1993
Oxide dry etcher, 6" 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ESCは、最高精度のエッチングおよびアッシングプロセス用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この装置は、実験室から製造まで、さまざまなアプリケーションや業界で使用するために設計されています。TEL TE 8500 ESCは、異なるプロセスチャンバーを使用して、精密なエッチングおよびアッシング機能を作成します。プロセスチャンバーは、プラズマシールドによって分離された別のプロセスと排気チャンバに分割されます。この配置は、エッチングとアッシングのプロセスで優れた清潔性、高速性、均一性を提供します。TOKYO ELECTRON TE 8500 ESCは、高精度のエッチングとアッシングプロセスを実現するさまざまな機能を提供します。このシステムは、最大の歩留まりを確保するために直接的および間接的なウェーハ転送が可能です。また、ウェーハや機械自体の物理的な損傷から保護するため、リアルタイムのエラー認識ユニットも内蔵されています。また、イオン化された物理蒸着(PVD)、化学蒸着(CVD)、真空紫外線(VUV)、抵抗アッシングなど、さまざまなエッチングおよびアッシング処理をサポートすることができます。これらのプロセスは、さまざまな精度オプションを提供し、ユーザーの特定の要件に合わせて調整することができます。TE 8500 ESCは、特定のアプリケーションにカスタマイズすることもでき、高精度のオンボード冷却システムなどの追加機能を使用してアップグレードすることもできます。さらに、この資産は使いやすく、メンテナンスが最小限に抑えられているため、忙しい実験室や産業環境に最適です。全体的に、TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ESCは、優れた精度と性能を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。このモデルは、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスをサポートし、直接的および間接的なウェーハ転送を提供し、特定のアプリケーションの要件に合わせてカスタマイズできます。さらに、機器は使いやすく、メンテナンスを最小限に抑える必要があるため、忙しい実験室や産業環境に適しています。
まだレビューはありません