中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 ATC #9148201 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ATCは、最先端の加工性能を提供する最新の技術で設計されたエッチャー/アッシャーです。このマシンには1台の台座が装備されており、高度なデバイス処理に必要なタイトな表面およびエッジプロファイル仕様を満たしながら、1時間あたり最大8500ウェーハを処理できます。また、ウェットまたはドライプロセスエッチング用に装置を構成することができます。高度なin-situセンサは、エッチング/アッシング性能を最大化し、粒子生成を最小限に抑えるために、エッチングおよびアッシング工程を正確に検出および最適化するように設計されています。このシステムには高度な洗浄機能も搭載されており、エッチングとアッシングプロセスの品質を確保するのに役立ちます。また、エッチングまたはアッシング後にウェーハに残留した残留度を検出できる層の厚さモニターを備えており、誤った過剰エッチングや過剰アッシングを防止します。エッチングまたはアッシング処理の持続時間と品質を常に監視することで、一貫したエッチング/アッシング速度を維持し、信頼性の高い再現性のあるエッチング/アッシング機能をユーザーに提供します。TEL TE 8500 ATCは操作の容易さのために設計されている完全に自動化された単位です。特定のアプリケーションや材料のエッチングまたはアッシングを実行し、プロセスおよびパフォーマンス分析用のデータを自動的に保存して、より迅速で正確な結果を得るようにプログラムできます。また、ハイスループット接続オプションを備えているため、半導体生産オートメーション用の他のTEシステムと容易に接続できます。TOKYO ELECTRON TE 8500 ATCは、高い反復性と信頼性を備えた高度なエッチング/アッシング性能を提供します。