中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9412380 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401は、半導体製造プロセスで使用されるエッチャー/アッシャーマシンの一種です。リソグラフィ段階から成膜段階までのパターン化されたウェーハをエッチングして搬送するための高精度ツールです。TEL TE 8401は、精密エッチング深度制御のための精密干渉計や基板位置決め精度のための統合アライメントセンサーなど、数多くの優れた機能を備えています。また、大面積の基板をエッチングするための大きなチャンバーも備えています。また、東京エレクトロンTE-8401には、粒子を低減するクリーンなドライエッチングチャンバーがあり、プロセス制御の向上と歩留まりの信頼性の向上にもつながります。また、TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401は汎用性が高く、HF、 HF/CXF、 FOSR、 ICPエッチングなどの複数のプロセス化学物質で使用できます。また、4インチまでのさまざまな基板サイズをサポートし、高度な制御プラットフォームを使用して正確なプロセス監視と制御を備えています。TEL TE-8401は、精密エッチング機能に加えて、衝撃のないトランスファーコンポーネントと、基板表面の損傷を最小限に抑えるためのカスタム多点トランスファーメカニズムを搭載しています。これにより、基板が汚染やストレスから保護されていることを確実にすることにより、歩留まり率がさらに向上します。TE-8401は、半導体製造プロセス用に特別に設計された非常に信頼性が高く、精密なエッチングおよびアッシングツールです。その優れた制御プラットフォームと衝撃のない転送機構により、可能な限り最高の歩留まり率を実現します。あらゆる半導体設備に加え、多種多様なプロセスと基板サイズにより、より汎用性と信頼性に優れています。