中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9292597 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401は、セラミックや金属など様々な材料に精密な成膜とエッチングを提供する高度なケミカルエッチャー/アッシャーです。薄膜成膜、結晶化、ドーピングなどの先端材料加工用に設計されています。この装置は、アスペクト比の高いサブミクロン蒸着厚を可能にする低圧真空蒸着方式を採用しています。このシステムは独自のPLCと専用プロセスコンピュータで動作し、高度な技術、プロセス、レシピを利用できます。このユニットの電極バイアスコントロールは、利用可能な最高の分解能エッチングと、高精度のエッチングと蒸着を正確に集中制御することを保証するトライゾーンを提供します。単一のウェーハ方式を使用することで、最も要求の厳しい生産要件を満たす正確な均一性と柔軟性を実現します。また、低圧プロセスにより、基盤となるウェーハの損傷を防止します。オートゲージユニットは、基板プロファイルの迅速かつ正確な測定を提供します。このマシンはユーザーフレンドリーなインターフェースと多種多様なレシピとプログラムを備えており、ユーザーはエッチングと蒸着プロセス全体を完全に制御できます。これらのプログラムは定期的に更新され、ツールが材料科学の最新の進歩に追いつくことができるようになります。また、いくつかのレシピを保存することができるので、必要に応じて利用することができます。GEM80を活用し、TEL TE 8401とGEM80の組み合わせにより、比類のない材料エッチングと成膜制御を実現します。メタライゼーションラインやITO/LCL薄膜成分など、小さな特徴を生み出すために最適化されたレシピです。GEM80はまた、コンフォーマルコーティング工程をサポートし、数アングストロームから数ミクロンの厚さまでの超薄層ポリマーまたは金属の堆積を可能にします。汎用性の高いTOKYO ELECTRON TE-8401エッチャー/アッシャーは、様々な材料に精密な成膜とエッチングを可能にする強力なツールです。その高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェースは、高度な材料加工に最適です。