中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9238869 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401
ID: 9238869
SiN Dry etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401エッチャー/アッシャーは、優れたエッチング性能とアッシング性能を提供するために設計された最先端のツールです。これは、高度な電子製品の広い範囲で使用されるエッチングとアッシングのプロセスを強力かつ正確に制御します。8401は、自動化された自動化機能、大型チャンバー、自動化されたウェーハの向きとアライメント、高度なユーザーインターフェイスなど、業界をリードする機能を提供します。ヘビーデューティ8401は、2つの独立したエッチングおよびアッシング機能を提供し、複数のサーフェスまたは製品の同時エッチングおよびアッシングを可能にします。このツールの大きなチャンバーは、最大8インチのウェーハと40インチのウェーハパックを収容できます。ウェーハホルダーとモータードライブは、正確なウェーハアライメントと向きを提供します。自動破壊処理は、最適な結果を得るために適切な時間と温度パラメータを自動的に設定します。8401の高度なユーザーインターフェイスにより、複雑なエッチングおよびアッシング操作を簡単にプログラムおよび制御できます。巧妙なユーザーインターフェイスと直感的な診断プロトコルは、最適なパフォーマンスに必要な正確な制御と精度をユーザーに提供します。ユーザーフレンドリーな設計により、迅速かつ正確なセットアップと迅速なトラブルシューティングが可能です。8401はまた、電子部品の最深部でのエッチングのタイミングと温度要件を最適化するために設計されたユニークな機能である高度なプラズマエッチャーを備えています。オーディオアラームは、主要なプロセスパラメータをオペレータに通知し、ヒーターとファンも紹介されています。8401エッチング/アッシャーは、先進的なエレクトロニクス市場に最先端の技術を提供するというTELのコミットメントを例示しています。最先端の設計により、エッチングおよびアッシングプロセスの優れた制御と精度、およびライン性能と信頼性のトップを保証します。8401は、高度な電子製品の大量エッチングとアッシングに最適なソリューションです。
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