中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9210330 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401は、半導体や各種フラットパネル部品の高精度、複雑なパターンの製造に使用される精密エッチング装置です。このエッチングシステムにはレーザーベースのエッチングヘッドが搭載されており、シリコンウェーハ、ガラス基板、ヒ素ガリウム、ブラックダイヤモンドなど、幅広い基材のパターンを正確かつ正確にエッチングできます。TEL TE 8401エッチングユニットは4つの主要部品で構成されています。まず、基板ホルダーは、加工中に基板を確実に保持するように設計されています。第二に、スイングアーム搬送機はウェーハの取り付けと位置決めに使用され、エッチヘッドの下の所望の位置に正確にウェーハを届けます。第三に、レーザーベースのエッチングヘッドは、非常に高解像度の幅広い材料でパターンを正確かつ正確にエッチングすることができます。最後に、オーバーヘッドマニピュレータを使用して、処理中に基板上のエッチングヘッドを正確に操作します。東京電子TE-8401は、レーザーベースのエッチングヘッド技術により、高精度・高精度を実現しています。これは複雑なパターニングを可能にする高度なソフトウェアと組み合わされています。エッチャーは、既存のパターンからデリバティブを迅速かつ正確に作成し、新しいパターンや機能を作成することができます。エッチャーは最大4 μ m、幅10 μ mまでのパターン深度が可能で、高解像度エッチングが可能です。このエッチャーはまた、非常に浅いパターンを作成することができます、浅い表面溝は非常に高い精度と精度でエッチングすることができるように。このツールは、デジタルレイアウトシステムからの入力を処理するためにも十分に装備されており、CAD描画パターンを正確に処理できます。TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401は、頑丈な構造と耐久性のある部品により、信頼性と堅牢性にも優れています。このエッチャーは、シングルフォームシリコンウェーハ、窒化アルミニウム、パイレックスなど、最も困難な材料から最も標準的な基板まで、さまざまな加工に適しています。エッチャーは、非常に特殊なエッチング処理を必要とするアルミニウムおよびInGaAsの薄い層のエッチングにも適しています。TOKYO ELECTRON TE 8401エッチングは、高精度・高精度の幅広い基板に対応できる、非常に汎用性の高いエッチング資産です。レーザーベースのエッチングヘッドと高度なソフトウェアは、高精度エッチングを必要とするメーカーにとって理想的な選択肢です。
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