中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9134027 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401は、ドライエッチングとウェーハアッシングのための高度なエッチャー/アッシャー装置です。画期的なクローズドタイプの設計により、優れた加工性能と品質を提供し、環境の安全性を保証し、人件費を削減します。TEL TE 8401は、基材やフィーチャーサイズに関係なく、理想的なエッチング条件を保証する高性能エッチング電源を備えています。また、プロセス間のバリエーションを最小限に抑える専用のコンピューター制御エッチング操作システムであるReal-Time Clustering DiseaseTARGETも搭載しています。高レベルのエッチング再現性を維持し、あらゆる基板に一貫したエッチング品質を提供します。TOKYO ELECTRONに搭載された高度なアッシング技術TE-8401、優れた無粒子アッシング結果を提供します。また、必要に応じて、熱処理、犠牲パタリング、イオンビーム照射などの基板の幅広い処理を提供しています。また、安全運転を確保するため、密閉工具不活性ガスを使用した安全機械をTE-8401し、有害物質の漏洩を防止しています。安全資産のカバーには、ガス漏れが検出された場合にアラームが発生するアラームモデルが装備されています。これにより、オペレータと環境に害を及ぼすことはありません。TE 8401にはAUTOSETと呼ばれる高度なソフトウェアパッケージがあり、オペレータは任意のレシピパラメータをプログラムし、必要に応じて簡単に保存および再現することができます。これにより、レシピの処理が大幅に簡素化され、生産性が向上します。TOKYO ELECTRON TE 8401は、機器の全体的なメンテナンスと寿命を向上させるため、所定の間隔で簡単に操作できる自動洗浄機能を搭載しています。これにより、マシンで処理されるすべてのウェーハの完璧な品質が保証されます。その結果、TE-8401は優れた処理性能と品質を提供する最高のエッチングおよびウェーハアッシングシステムであり、環境の安全性を確保し、人件費を削減します。