中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #293758823 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401は、半導体材料に複雑な回路形状をエッチングする一連のインテリジェントな自動プロセスを利用した、化学的に強化されたエッチング装置です。特許取得済みのエッチプロセス技術により、正確なエッチング結果を保証し、手動設計の必要性を排除します。このシステムは、2つの自己整列サブプラテンユニット、1つは基板をサポートし、もう1つはマスクまたはパターンをサポートする真空チャンバーを備えています。自己一直線に並ぶ締め金で止める版はエッチング工程の間に材料がしっかりと結ばれた残り、結果の正確さを保つために0。01 mmの単位で調節することができることを確かめます。この基板は、静電チャック内の静電ピンなどを使用して固定され、簡単かつ正確な位置決めが可能です。TEL TE 8401、 410MHz RFジェネレータ、2。45GHz共振器の2つのエッチングプラズマ源があり、どちらもサイクロトロン原理に基づいています。単一の材料をエッチングするためのサイクルタイムを調整可能で、高解像度処理のための低温エッチングまたは高速スループットのための高温エッチングを可能にします。この装置には、オンボード設計データベースとイオン化比測定とイオンフラックス推定を含む高度な診断ツールを備えた高度なプラズマ制御マシンがあり、正確な処理を保証します。東京電子TE-8401では、熱性能監視や資産健全性モニタリングも実施しています。さらに、可燃性、爆発性、有害なガスがエッチング室に侵入するのを防ぐ安全機能と、最適な動作温度と圧力を維持する温度および圧力制御を内蔵しています。全体として、TE-8401は信頼性が高く、強力で正確なエッチング装置であり、幅広い用途に対応する高解像度の精密回路を作成するのに理想的です。特許取得済みのエッチングプロセス技術、高度なプラズマ制御、安全機能により、堅牢で拡張性の高い複雑な回路を製造するための貴重なツールです。