中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 IME #9128551 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 IMEは、多種多様な素材に対応する高度なエッチャー/アッシャーです。その先進的な設計は、高品質で信頼性の高い製品を製造する手段を提供しながら、最新の半導体製造に必要な最も精密なエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。この装置にはX-Yステージ、ロードロック、および様々なチャックシステムが装備されており、幅広いウエハーを使用することができます。このロードロックは高真空環境を備えており、他の標準マシンよりも高い真空レベルを実現します。さらに、ステージは非常に長い移動距離を持ち、ウェーハの微調整を可能な限り最高のプロセス精度を達成することができます。TEL TE 8401 IMEは高速かつ効率的であり、プロセス時間が短い大量のウェーハを処理することができます。温度コントローラーを内蔵し、高精度な温度と圧力を維持しながら最適な環境制御を可能にし、高品質のエッチングとアッシングプロセスを可能にします。TOKYO ELECTRON TE 8401 IMEは、オプションのエッチングツールを選択して、ウェットとドライエッチングの両方に最適化されています。さらに、高度なウェーハアライメントシステムにより、タイトな公差内で正確な配置とアッシングが保証されます。また、エッチングおよびクリーニングプロセスをリアルタイムで監視するコントローラも装備されています。TE 8401 IMEの他の機能には、自動基板ローディングシステム、および個々のウェーハに必要なプロセスステップを管理するためのレシピ管理システムがあります。また、エッチングおよびアッシングプロセスを正確に測定するための高度な計測およびステップアンドリピート機能も提供します。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 IMEの高度な設計により、ユーザーは信頼性の高い精密なエッチングとアッシングプロセスで高精度で信頼性の高い製品を作成できます。その均一性と均一性コントロールは、製品レベルの一貫性を保証します。この装置は、ウェットエッチングとドライエッチングの両方、および高度なICを作成するために必要なその他の中間プロセスにも同様に適しており、高速かつ効率的な半導体生産を可能にします。その柔軟性、生産能力、簡単なインターフェイスにより、幅広いアプリケーションでの使用に適しています。