中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8400 #9051322 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400は、半導体等の基板を精密に成形・加工するエッチャー/アッシャーです。TEL TE 8400は、ダイやダイオードなどのデジタル集積回路をエッチングできるウェットエッチング装置です。このシステムには、非接触のウェーハツーウェーハハンドリングユニットと、正確なパターニングプロセスを実現する7面プラズマ/ケミカルデリバリーマシンが装備されています。TOKYO ELECTRON TE 8400は、エッチング、フォトリソグラフィ、レジストストリッピング、金属蒸着など、幅広いプロセスに対応しています。このツールは、塩素やフッ素などのイオン化源ガスを利用して、ウェーハにエッチングするための正確なプラズマを生成します。このガスは、無線周波数（RF）信号と組み合わせて、ウェーハ表面に追加の材料をエッチングまたは堆積させることができるプラズマを生成します。さらに、TE 8400は化学ステーションを使用してエッチング力を強化し、エッチング処理時間を短縮します。このアセットは、酸化物反射（AR）コーティング、トンネルクリーニング、スペーサバイパス、エッチング選択性の最適化などのハイエンド機能で構成されています。ARコーティングは、ウェーハ表面からの反射を低減し、正確なマイクロパターンを確保します。トンネルクリーニングは、エッチング端点に向かって発生する望ましくない汚染物質を除去することにより、エッチング工程の副産物を削減します。スペーサーバイパスは、従来のハードマスクスペーサーの必要性を排除し、ユーザーが直接エッチング機能をパターン化することができます。最後に、エッチングの選択性の最適化により、プロセスの再現性が向上し、プロセスのバリエーションに対する感度が低下します。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400は、自己診断、センサー、アラーム、セキュリティロックなどの高度な安全機能を備えています。自己診断機能は、モデルの健康とパフォーマンスを監視し、マシンの最適な動作を保証します。センサは外部プロセス条件を監視し、正確なエッチング処理を保証します。警報装置は安全でない条件が検出されればオペレータに警告します。最後に、セキュリティロックシステムは、許可された職員だけがユニットにアクセスできるようにします。全体的に、TEL TE 8400は、要求の厳しい半導体やその他の基板製品に適した洗練されたエッチャー/アッシャーです。機械の高度なエンジニアリングと機能により、ユーザーは正確で繰り返し可能なエッチングプロセスを提供し、安全性とセキュリティを向上させます。