中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500M #293610453 を販売中

ID: 293610453
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1994
Oxide etcher, 6" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500M etch/aspherは、幅広いサンプル材料のエッチングとアッシングのために設計された先端技術機器です。反応イオンエッチング技術を用いて複雑なパターンの精密エッチングを提供するように設計されています。TEL TE 7500Mは、最先端のエッチャー/アッシャーとして、エッチングとアッシングの結果において比類のない精度と均一性で信頼性の高い性能を提供します。TOKYO ELECTRON TE 7500Mは、先進の8段プロセスコントローラと真空コントローラで構成されており、エッチングとアッシング速度の正確な制御と正確な温度と圧力制御を可能にします。このシステムは、強力なエッチングチャンバー、デュアルゾーンクォーツタンク、排気煙突で構成されています。このチャンバーは、クリーンで信頼性の高い均一なエッチング/アッシングプロセスを提供するように設計されています。一方、2ゾーンの石英タンクと排気煙突は副産物の効率的な排気を保証します。また、各種サンプルホルダーや電極も用意されており、各種材料のエッチング/アッシングを効率的に行うことができます。TE 7500Mは、ユーザーにさまざまなプログラム可能な機能を提供し、エッチングとアッシング速度、温度、圧力、およびその他のパラメータのユーザー定義の設定を可能にします。このユニットはまた、エッチャー/アッシャーの信頼性と安全な動作を保証する、幅広い安全機能を提供します。チャンバーには、工具への電源供給が中断された場合、チャンバーの偶発的な動作を防止するために使用できるインターロック装置が装備されています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500Mは、優れたプロセス能力を提供しつつ、使いやすく効率的に設計されています。直感的な操作アセットには、ユーザーがプロセスを選択し、設定を入力し、ジョブの進行状況を追跡できるタッチパネルインターフェイスが付属しています。また、TEL TE 7500Mは、潜在的な問題を迅速に検出し、警告メッセージや診断を提供することができる高度な自己診断機能を備えています。TOKYO ELECTRON TE 7500Mは、エッチングとアッシングのための効率的で信頼性の高いユーザーフレンドリーなソリューションです。エッチングとアッシングの結果に優れた性能、精度、均一性を提供し、安全で信頼性の高い動作を保証します。TE 7500Mは、精密エッチングとアッシングを必要とする研究および商用アプリケーションに理想的な選択肢です。
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