中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500M #293600493 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500Mは、シリコン、GaAs、 AlAsなどの材料の精密、高効率エッチングおよびアッシング用に設計されたハイエンドエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高度なマルチステップ技術に基づいており、処理する表面に複数のシーケンシャルエッチングおよび/またはアッシングステップが適用されます。結果は、最も低い汚染物質で最高の収率を提供するように設計されている正確で反復可能な処理です。TEL TE 7500Mには、強力で信頼性が高く、使いやすいエッチングとアッシングのニーズに対応する高度な機能が多数搭載されています。マルチウェーハカセットのローディングユニットと自動搬送機能によりオペレータの取り扱いを削減し、オートロック基板ホルダーは基板負荷の正確なアライメントとトレーサビリティを保証します。このマシンには、フルセットアップ、監視、および制御機能を備えた直感的でナビゲートしやすいグラフィカルユーザーインターフェイスも装備されています。TOKYO ELECTRON TE 7500Mのエッチングおよびアッシング機能はトップオブラインです。インテリジェントで洗練されたプロセス制御システムを提供し、生産性と歩留まりを最適化し、選択可能なフォースコントロールのウェットエッチング、ハイスループットドライエッチング、および高貴なガスアッシングを提供します。さらに、このツールには、均一なエッチング深さのためのグローバルな幾何学的補正と、高度な化学的および質量バランスの監視と調整が含まれており、正確なプロセス結果を保証します。TE 7500Mは、化学ポンプと内蔵の機械式ポンプを誇る真空伝達資産と、高い製品品質を確保するために化学、プロセス、および真空パラメータを監視および調整できるin-situモニターを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON TEは、コンフィギュレーションテンプレート、スケジューリングモード、オンラインレシピ変更などの追加機能により、高度なエッチングやアッシングのニーズに最適なデバイスと7500Mています。全体として、TEL TE 7500Mは、精度と信頼性を必要とするエッチングおよびアッシング作業に理想的なソリューションを提供します。高度な機能、信頼性の高いプロセス、直感的なユーザーインターフェースを備えたこのモデルは、無駄を最小限に抑え、最高の歩留まりを達成しながら、優れたパフォーマンスと効率を提供するように設計されています。