中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9236833 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500は、半導体業界に先進的なエッチング機能を提供するエッチャー/アッシャーです。紫外線による高品質で正確なエッチングが可能です。TEL TE 7500は、デバイス製造のための高精度で複雑なサーフェスを作成するために一般的に使用されます。TOKYO ELECTRON TE 7500は、オープニングステージの可変設計や大型ワークエリアなど、さまざまな機能を備えたエッチャー/アッシャーシステムを内蔵し、複数のダイを同時にエッチングすることができます。可変開口段は、さまざまな金属マスクを正確に配置し、エッチングパラメータを正確かつ反復可能にします。一方、大きな作業領域は、ダイレイアウトの多様性を提供することにより、生産スループットを容易にします。エッチャー/アッシャーのデザインには、エネルギッシュな反応イオンエッチングや浅い反応イオンエッチングなど、さまざまなエッチング技術が組み込まれています。これらの技術は、従来のウェットエッチング法と比較して、エッチング時間を短縮し、製品の歩留まりを向上させることができます。TE 7500はまた、エッチングプロセスの制御とスケジューリングを容易にするために最適化されたソフトウェアとプロセスの自動化を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500は、精密エッチングに真空UVパルスレーザーを採用しています。このレーザーは、ターゲットのダイに導かれる強烈な紫外線のパルスを生成します。従来のレーザーと比較して、真空紫外線レーザーは困難なパターンまたは不規則な形のより速いエッチングを可能にします。エッチングされる材料と目的によっては、最適なプロセス結果を得るためにレーザーのパルスを調整することができます。TEL TE 7500は、堅牢なユーザーインターフェースを有し、オペレータの環境と安全を監視するための安全モニターを備えています。人間工学に基づいた設計により、エッチャーの設定を簡単に調整でき、エッチング処理が完了すると自動エンドポイント検出システムがユーザーに警告します。エッチャーには、ビーム電力、パルス反復速度、フォーカス設定、ビームエネルギーなどのパラメータを含む組み込みのレシピもあり、ボタンのタッチで調整できます。TOKYO ELECTRON TE 7500は、半導体業界の様々な材料の精密エッチング用に設計されたハイテクエッチャー/アッシャーです。可変開口部や複数のエッチング技術などの多目的な機能により、このエッチャーはデバイス製造のための複雑なサーフェスを作成するための理想的なツールです。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、エッチングプロセスの簡単な操作と制御が可能です。