中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198159 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500は、汎用性、信頼性、使いやすいエッチング/アッシング機器です。SiO2、石英、金属、ポリマーなど、様々な素材で構成される基板をエッチングして灰にすることができます。このシステムは、イオンビームエッチング（IBE）技術を使用しており、エッチング処理を正確に制御できます。基板の互換性により、さまざまな用途に適しており、MEMS/MOEMS、半導体デバイス製造、その他の新技術などの用途に最適です。TEL TE 7500は、直感的なグラフィックインターフェイスを介して動作する完全自動化ユニットです。内蔵の電動ロータリーステージと調整可能なタイルにより、基板の精密なアライメントが可能になり、手動調整の必要性を最小限に抑えます。これにより、機械は使いやすく、エッチングとアッシングの間に大きな精度を提供します。TOKYO ELECTRON TE 7500には、プロセスの一貫性と精度を向上させるいくつかの機能が搭載されています。これらの機能は、正確な反応制御とエッチング速度のための正確な温度を維持する温度制御ツールと、安定した効果的な化学を確保するためにエッチング工程中の圧力を監視するセンサーを含みます。さらに、このアセットには専用のビーム診断モデルがあり、エッチング処理をリアルタイムで監視し、結果を最適化して処理時間を短縮するフィードバックを提供します。この装置は、エッチングとアッシング時の最大効率を可能にする調整可能なノズルと真空ラインを使用しています。また、エッチング時の充電アライメントを最適化するために、静電チャックと一緒に調整可能なエッチングビームを使用します。最後に、システムにはメンテナンスとダウンタイムを削減する自動クリーニングモジュールが含まれています。全体的に、TE 7500は、幅広い用途に適した機能と機能を備えた優れたエッチング/アッシングユニットです。品質の結果に必要な耐久性、精度、精度、使いやすさがあり、あらゆるスキルレベルのユーザーに最適です。