中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198158 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500は、さまざまな用途に対応した汎用性の高いエッチング/アッシャー装置です。優れたエッチング/アッシュプロファイリング機能を提供し、エッチング/アッシュの深さとプロファイル形状を正確に制御します。このシステムには、ユーザーが希望するプロセス条件を簡単にプログラムできる高度な制御ユニットが含まれています。このマシンには、プロセス精度、再現性、信頼性を確保するために、さまざまなセンサーとプロセス制御コンポーネントが装備されています。その広大なディスプレイは、リアルタイムのプロセス情報へのアクセスを提供し、ツール操作の容易な監視を容易にします。TEL TE 7500は、高いエッチング/アッシュレートを備え、ウェットエッチングとドライエッチングの両方を可能にします。また、プロセス要件を満たすためにガス流量制御機能の広い範囲を提供します。このアセットは、腐食性の損傷を最小限に抑える耐薬品性の構造を備えたコンパクトで堅牢な設計です。それはワイパーおよび版のための必要なミニツールヘッドの設計が装備されています。さまざまなエッチング/アッシュマスクも利用可能で、ユーザーはエッチング/アッシュのプロファイルを制御できます。TOKYO ELECTRON TE 7500は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェースにより、操作とメンテナンスが簡単です。また、手動プロセスと自動化プロセスの両方で使用できるように設計されており、ユーザーに大きな柔軟性を提供します。その柔軟性はまた、複数のウェーハのロードとアンロードモードを可能にします。さらに、TE 7500はスクラバーを内蔵した排気モデルを備えており、より高いレベルの安全性と規制への準拠を可能にします。この装置は、プロセス制御と安全性の高いレベルを提供するため、クリーンルーム環境に適しています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500は、さまざまな用途において優れたエッチング/アッシュ性能を提供できる、信頼性の高い汎用性の高いエッチング/アッシャシステムです。その高度な制御ユニット、複数のウェーハローディングとアンロードモード、組み込みのスクラバーは、多くのエッチングプロセスで安全で信頼性の高い選択肢となります。