中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198156 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500は、さまざまな産業用途で使用される化学機械研磨（CMP）プロセスを作成するために設計されたエッチャーおよびアッシャー装置の一種です。このシステムは、精密な化学機械的材料除去、サブ1アングストロムレベルのウェーハ研磨、および最適なプロセススループットのための複数のチャンバ構成を提供します。また、高度な研究開発に使用するためのさまざまな実験モジュール構成と互換性があります。TEL TE 7500は「ePolish」モードと「etch/Ash」モードの2つのプロセスタイプを備えています。ePolishモードでは、CMP技術を使用して等方性および表面セグメント研磨を提供し、正確なプロセス制御と優れたウェーハ研磨精度を提供します。TOKYO ELECTRON TE 7500は、エッチング/アッシュモード向けに、エッチング/アッシュレシピに最適化されたモジュラー型マルチチャンバーアーキテクチャを採用し、ウェハインタフェースにより基板転送精度を高めています。TE 7500は、デジタルブラシレススピンドルモータ設計を採用しており、プロセス回路の効率を最大限に高め、より高いスループットレートを実現しています。また、標準的なウェーハ研磨とエッチング/アッシングの両方のプロセスのための液体環境を監視し、調整するインテリジェントオアシス制御ソフトウェアを備えています。これにより、プロセスの安定性を自動的に維持し、再現性と品質管理を向上させることができます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500には、酸化物/金属化成成膜装置が搭載されており、研磨、エッチング、アッシング用のウェーハを瞬時に準備できます。さらに、TEL TE 7500は、CMPプロセス中のプロセスパラメータのリアルタイム最適化を提供するインテリジェントなレシピ制御ソフトウェアを備えており、in-situ Oxide/Metallization Depositionツールに保存されている実績のあるレシピのデータベースを使用して、最適なサイクル長とプロセス品質を保証します。オープンソースのレシピ開発ツールも同様に、新しいプロセスのテストと開発に利用できます。TOKYO ELECTRON TE 7500は、優れたプロセス精度とスループットを提供する強力で信頼性の高いエッチャーおよびアッシャー資産です。その様々な機能により、ウェハレベルのパッケージング、高度な誘電性CMP、または巨大な磁気抵抗デバイス製造など、多くの産業用途に最適です。このモデルは、プロセスコストを制御するための理想的なソリューションであり、ビジネスの成功の重要なコンポーネントです。