中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9202961 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400は、半導体ウェーハ加工に特化したエッチャー/アッシャーです。エッチングおよびアッシングプロセスで優れた信頼性と再現性を提供します。TEL TE 7400は、特許取得済みのPyrolysisプリコンディショナー装置を備えており、非均一エッチングおよびアッシングのレベルを大幅に低減できます。TOKYO ELECTRON TE 7400はプログラマブルエッチャーとアッシャーで、エッチングとアッシュパラメータの制御に使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。GUIはプロセスパラメータの手動制御を可能にし、最大50セットの個別レシピを保存できます。TE 7400はまた、ダウンタイムを節約し、手動操作の時間を短縮することができる自動プロセスを可能にします。エッチャーは、O2、 SF6、 CF4、 CHF3を含む幅広いエッチングガスに対応するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400は、エッチングガスをウェハに均一に届けるためのリアクタントガスデリバリーシステムを採用しています。ウェーハはエッチング用とアッシャー用の2つの加工チャンバーで処理されます。エッチング時間とアッシング時間は、0〜999秒の範囲で調整可能です。TEL TE 7400は、標準設計からカスタマイズ設計まで、さまざまな電極設計を取り付けるためのステーションも備えています。標準設計はエッチング操作に、カスタマイズされた設計はスリットエッチング操作に使用できます。TOKYO ELECTRON TE 7400光学ユニットは、エッチングおよびアッシュ動作時に均一で正確な電極制御を実現し、優れた性能を発揮するよう設計されています。TE 7400はまた、エッチングとアッシャーチャンバーの両方でプロセスガスフローを正確に制御するのに役立つスキャン電子マスフローコントローラ（SEMFC）を備えています。この機能により、エッチングとアッシングプロセスが正確かつ再現性が保証されます。また、ボイドや意図しないエッチングやウェーハ上の灰の可能性を最小限に抑えるのに役立ちます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400にはいくつかの安全機能が搭載されています。エッチャーに入るときの安全性を確保するための自動ドアインターロックと、圧力が動作限界を超えたときにエッチャーをシャットダウンする過圧スイッチがあります。インドウェル監視機能は、エッチングおよび灰プロセス中にウェーハの温度を継続的にチェックします。これは、均一なエッチングとアッシングのための正確な温度を確保するのに役立ちます。全体的に、TEL TE 7400は、優れた結果を提供し、操作が容易な半導体ウェーハ製造のための専用エッチャーとアッシャーです。TOKYO ELECTRON TE 7400は、特許取得済みのプリコンディショナー機とプログラマブルなプロセス制御設定により、多くのエッチングおよびアッシング操作に不可欠な信頼性と再現性の高い性能を提供します。