中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9198267 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400は、先端半導体の製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。最大200mmまでの基板加工が可能で、半導体製造、ウェーハプロービング、パッケージングに最適です。水性ウェットエッチング装置を搭載し、最大100nm/minのエッチング速度と100°Cまでのウェハ温度の選択が可能です。また、複数のキャビティ構成と高度なプロセスモニタリング機能を備えており、精密なトラブルシューティングを伴う正確なエッチングプロファイルを可能にします。TEL TE 7400は、温度やその他のパラメータに基づいて精密なエッチング速度を正確に制御できるため、高精度なオートメーションシステムを誇っています。使いやすいレシピは、ユニットを直感的に操作し、迅速かつ正確にセットアップすることもできます。また、大量のICや基板にも対応できるため、生産に適しています。東京エレクトロンTE 7400の環境に優しい設計は、冷却水を利用して望ましくないエチャント蒸気を排出し、揮発性化合物を簡単に排出できるように設計された排気ツールを備えています。封じられた設計はまた危険なエッチングの化学薬品への露出を制限します。TE 7400は、高度な画像ベースのプロセスモニタを備えており、リアルタイムウェーハイメージングを可能にし、正確なプロファイル制御とプロセスチューニングを可能にします。このモニターはまた、エッチング処理の詳細な分析を可能にし、重要なプロセスパラメータの洞察を提供します。自動クリーニングおよび過剰エッチング操作を有効にすることで、幅広い基板上のクリーンで一貫したエッチングプロファイルを保証できます。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400は、精度を維持するためにプロセスパラメータを自動的に調整するエッチング速度を正確に検出する機能を備えています。これらの機能を組み合わせることで、TEL TE 7400は高信頼性のエッチャー/アッシャーであり、高度な半導体の効率的かつ正確な生産を保証します。