中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9198161 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400は、エレクトロニクス製造業界で使用されるエッチャー/アッシャーです。精度と精度を必要とする用途向けに設計されたハイエンド機器です。半導体ウェーハのサブミクロン精度でファインピッチパターンをエッチング・洗浄する先端技術を採用しています。TEL TE 7400は、エッチングおよび洗浄プロセス中に一貫した結果を保証するために、リアルタイムフィードバックを提供する自動ユニットです。このマシンは、エッチングガスの正確な選択と制御を可能にするマルチガスジェットを備えています。各ガスの圧力と流量は独立して制御され、エッチング速度とプロファイルを特定の要件に合わせて調整することができます。バレルヒーターは400°Cの温度までプロセス部屋をエッチング率および質を改善するために熱します。プロセスチャンバー内の温度変化を補正する自動チャンバーマッチングツール（AMS）を搭載しています。TOKYO ELECTRON TE 7400は300mmまでの大型基板に対応可能です。ウェーハの両面処理に2つのロードロックシステムを使用しています。各ウェーハは専用のロードロックにロードされ、より大きなウェーハをより迅速にロードできます。この資産の柔軟な設計には、メンテナンスとサービスを容易にするためのオープンドア設計が含まれています。このモデルは、MIA/PPCやICOSなどのさまざまなオートメーションおよび制御システムと互換性があります。また、簡単なプログラミングとトラブルシューティングのための直感的なオペレータインターフェイスも含まれています。TE 7400は電子部品の精密エッチングおよび洗浄のための信頼できる用具です。それはあらゆる電子工学の製作装置の重要な部分で、良質プロダクトが製造されることを保障するのを助けることができます。