中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7000 #293667492 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7000は、半導体デバイスの製造に使用される高速・高精度エッチャー/アッシャーです。これは、単一および複数層プロセスを含む、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に対応するように設計されています。TEL TE 7000は、CDの変動を最小限に抑えて高精度な画像を生成することが可能な、単一電荷電子ビームを備えています。ビームは、表面汚染を最小限に抑え、リメルト損傷を低減するように設計されています。また、センターセレクションやリピートパターンなどの高度なインデックス機能も備えています。TOKYO ELECTRON TE 7000は、アルミニウム、シリコン、はんだ、PHG、 WF 2など多くの素材をエッチングすることができます。このシステムには、プログラム可能なイオン源パワーコントロールユニットと、低シーページ、マルチレベル、および最適化された高アスペクト比プロセスなど、いくつかのプログラム可能なプロセスがあります。また、ウェットプロセスエッチングやアッシング操作を行うこともできます。TE 7000は、ウェーハマップ測定機や真空チャックなど、ウェーハオリエンテーションやパターンアライメントの先進技術を搭載しており、エッチングやアッシング工程で高精度を実現しています。エッチングとアッシングのプロセスには、チャンバー内の温度を調節するための裏面加熱ツールも装備されています。さらに、この資産には、処理サンプルのクリーンな環境を維持するための自動避難および排気モデルがあります。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7000は、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を最大化するように設計されています。この機器は高度な安全機能と直感的なユーザーインターフェイスを備えており、操作とメンテナンスが簡単です。全体として、TEL TE 7000は、高度な半導体デバイス製造プロセス向けに設計された高速、高精度のエッチャー/アッシャーです。その高度な機能により、表面汚染やリメルト損傷を最小限に抑えた材料の正確なエッチングとアッシングが保証され、プログラム可能な設定により最適なプロセス制御が保証されます。このシステムは信頼性が高く、操作が簡単で、最大の生産性を実現する安全機能を備えています。