中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109090 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LCは、超微細なパターニングと滑らかな表面仕上げのための高度なエッチャー/アッシャープロセスツールです。このエッチャー/アッシャーは、優れた粒子汚染制御により高スループットを実現し、ウェーハ全体で優れた均一性を提供します。この高度なエッチャー/アッシャーは、ローディングとアンロードのカセットを備えています。最大8台のカセットを搭載可能で、より効率的なウェハテレポーテーションが可能です。高度なTEL TE 580LC asher/etcherは、ウェーハのバックラッシュとウェーハへの潜在的な損傷を低減する改良されたステージ設計も備えています。ウエハを装填すると、ロードロックプロセスチャンバーを使用したエッチャー/アッシャーを580LCします。このプロセスチャンバーには、1つまたは2つの昇華炉と基板バイアスが装備されています。この技術の組み合わせにより、プロセス制御の向上、ウェーハのターンアラウンドの高速化、エッジ定義の改善が可能になります。エッチャー/アッシャーは、高度なエッチング制御機能も備えています。この高度なエッチング制御により、ユーザーは自動磁場を介してエッチング速度を変化させることができます。このエッチレートは、特定の要件に応じて調整することができます。さらに、この高度なエッチャー/アッシャーは、エッチングの均一性と正確な制御を向上させるための高い静電容量エネルギーストレージシステムを備えています。エッチングの均一性が向上するため、プロセスの再現性が向上し、歩留まりが向上します。TE 580LCはまた400°Cの最高温度の高温プロセスを特色にします。この機能は、優れたプロファイル性能を達成し、高い製品品質を確保するのに役立ちます。また、スループットを低下させる一般的な問題であるアウトガス防止にも役立ちます。さらに、この高度なエッチャー/アッシャーには、汚染制御のための高度な中性子放射線検出が含まれています。この機能は、不要な汚染物質が検出され、すばやく除去されるようにするのに役立ちます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC etcher/asherは、超微細なパターニングと滑らかな表面仕上げのための高度なプロセスツールです。ウェーハ全体で優れたスループットと優れた均一性を提供し、優れたプロファイル性能とプロセスの再現性を実現します。