中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091964 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LCは、半導体・集積回路製造業界の様々な用途に使用するために設計された高精度、高スループットエッチャー/アッシャーです。この装置は、プラズマソース、プロセスチャンバー、真空ポンプ、コントローラ、ソフトウェアを統合した高効率の自己完結型システムに基づいています。この組み合わせは、ユーザーに高精度とプロセス制御を提供します。TEL TE 580LCは、リニアエッチング/アッシャーアプリケーションで最大10 μ mまでの加工が可能です。このユニットには、ウェーハ表面の均一な露出と正確なエッチング/アッシャープロファイル制御を提供するマルチスリットリニアアレイスキャナが装備されています。このチャンバは、スループットの向上とプロセス制御の向上を可能にする、強化されたプロセスチャンバー設計を備えています。TOKYO ELECTRON TE 580LCは、一貫したエッチング/アッシングのための温度フィードバック制御、リアルタイム質量分析モニタリング、精密な圧力制御など、幅広いプロセス制御機能を備えています。高度なプロセス制御技術により、一貫して高品質の結果が得られ、プロセスの再現性が向上します。TE 580LCは、高圧安全弁、シャッターロックアウト、リモートスタートなど、幅広い安全機能を備えています。このマシンは、効率的かつ安全なガス使用を可能にし、安全な作業環境を維持するのに役立ちます統合されたガス排気マニホールドを持っています。このツールはまた、動作温度を安定した状態に保ち、過熱を防ぎ、長期的なモデル性能を維持するために、複数のファンとヒートシンクを備えた堅牢で冗長な冷却資産を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LCは使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ルーチンプロセスには自動的なレシピとプロセス設定が用意されています。また、機器のメンテナンスも容易で、定期的に予防メンテナンスを実施し、適切な動作を保証します。全体的に、TEL TE 580LCは、さまざまなエッチング/アッシング用途において高精度かつ再現性を提供する信頼性の高い強力なエッチャー/アッシャーシステムです。ユニットは堅牢に構築され、使いやすく、優れた性能と一貫した結果を提供することができます。