中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091959 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LCは、多種多様な半導体製造プロセスで使用できる高精度プラズマエッチャー/アッシャーです。プラズマを使用して半導体基板にエッチングまたはアッシャーパターンを作成します。その高度な技術により、高いスループットと欠陥率、およびフィルムの均一性と基板から基板への再現性が向上します。このマシンは、エッチングまたはアッシャープロセスが迅速に完了するように最大300mm/sの高速を備えており、高いスループット率により生産性が最大限に向上します。機械に高速で振動がないので堅い構造および高度モーター制御システムは正確なエッチングを、保障します。垂直アップダウンロック構成により、サンプルの読み込みとアンロードが容易になります。また、高い質量精度と温度制御による転送遅延を最小限に抑えることができます。TEL TE 580LCには、エッチングまたはアッシングプロセス用の高品質プラズマを形成できる可変圧力チャンバがあります。これにより、フッ素含有化学物質、半導体グレードの塩酸および硫黄ベースの酸など、幅広いエッチング剤で動作することができます。また、チタン一体加工基板ホルダーを備えており、非常に均一なエッチング処理が可能です。ユーザーの利便性のために、マシンはまた、ユーザーに向けて角度付きLCDモニターを含む人間工学的なデザインを持っています、そして、ユーザーフレンドリーなGUI（グラフィカルユーザーインターフェイス）カスタマイズされたプロセス設定とレシピストレージのための大きなメモリと。TOKYO ELECTRON TE 580LCは、安全性を確保するために、独自のリーク検出システムを内蔵しており、腐食性液体の漏洩の可能性を自動的に検出し、警告するとともに、高効率でプログラム可能な安全プロトコルを提供しています。全体として、TE 580LCは、信頼性が高く、再現性が高く、費用対効果の高いプロセスを提供するように設計されたさまざまな機能を備えた最高レベルのエッチャー/アッシャーです。高い質量精度と温度制御による転送遅延を最小限に抑え、効率的かつ正確なエッチングまたはアッシングを可能にします。可変圧力チャンバーやチタン加工基板ホルダーなどの追加機能により、最高品質のエッチングが保証されます。人間工学に基づいた設計、ユーザーフレンドリーなGUI、および安全プロトコルは、ユーザーの利便性を高め、処理中の安全性を確保します。