中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9269144 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580は、半導体業界に最適な汎用性の高い中型エッチャー/アッシャーです。その高精度技術とモダンなデザインは、正確かつ予測可能なエッチング/アッシング結果を可能にします。TEL TE 580には、フルビュープロジェクターと光を使用したOFCオプティカルエッチング装置を搭載し、正確なエッチング/アッシュデバイスを実現しています。このシステムにより、東京エレクトロンTE 580は、浅いエッチングと深いエッチングの両方に使用できます。また、PNPトランスファーユニットを装備しており、一度に最大8枚のウェハカセットを転送できます。カセット交換時間を大幅に短縮し、生産性と効率性の高いプロセスを実現します。さらに、PNP転送ツールは、ウェーハカセットの手動処理の必要性を取り除き、基板をクリーンにします。TE 580はコンパクトな設計で、中小規模の生産環境に最適です。さらに、このマシンには高度な制御アセットと包括的なタッチパネルインターフェイスが装備されています。このモデルは、TEL/TOKYO ELECTRON TE 580を手動で実行したり、完全自動生産ラインに簡単に統合したりすることができます。TEL TE 580には、CDS-ケミカルデリバリー機器、IPS-インラインプロセス検証のサポートなど、包括的な周辺機器機能もあります。これはマルチモード排気機能に加えて、エネルギーコストを節約し、最高の環境基準に準拠することができます。最後に、TOKYO ELECTRON TE 580には、in-situレシピ開発システムも搭載されており、複雑な多層エッチングのレシピを簡単に作成できます。全体として、TE 580は包括的で効率的で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、半導体産業に最適です。高度な制御ユニットと組み合わせた高精度エッチング/アッシング結果により、中規模の生産環境に最適です。