中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9198155 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580エッチャー/アッシャーは、半導体製造業界で使用するために設計された強力な精密エッチングおよびアウトライン加工機です。この機械は、線幅の最小化、エッジのクリーン化、アスペクト比の低減などの機能を備えた、多数の材料層のエッチングを可能にします。イオンビームウォータークリーニングや乱流制御などの機能は、完璧な高品質の結果をさらに確保するのに役立ちます。TEL TE 580は、電子ビームを使用して、真空チャンバーに供給される特定の材料やフィルムを正確にエッチングまたはアッシャーします。この機械は負の真空圧力で動作し、エッチング処理中の汚染のリスクを低減します。エッチング処理はパーソナルコンピュータによって制御され、ビーム電流、形状、幅、角度などの正確なパラメーターを設定できます。高電圧インターロック機能、EMIシールド、電動ステージ補償など、さまざまなセンサーや安全機構を搭載し、クリーンルーム環境を維持しながらエッチングを安全かつ正確に行うことができます。また、複数のビーム電流モニタリングシステムを備えており、処理中のウェーハ材料のずれや不一致を検出し、目的の結果を得るために設定を調整することができます。TOKYO ELECTRON TE 580は、複雑な材料のエッチングとアウトラインで完璧な結果を生み出すように設計された先進的な機械です。環境安全機能、高精度なエッチングとアウトライン機能、堅牢な安全監視機能を備え、半導体製造業界の研究開発に最適です。