中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9181767 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580は、高効率で高精度な自動エッチャーです。先進的な微細加工用途向けに設計されており、最先端のプラズマ機器を備えています。このシステムの汎用性と信頼性により、最も困難なエッチングおよび表面処理プロジェクトに最適です。TEL TE 580は、高周波、高圧無線周波数（RF）プラズマを使用して、さまざまな材料に精密なパターンをエッチングします。高度なRF技術により、優れたエッチング均一性、精度、エッチング率を実現します。このプラズマは、最高レベルの精度を維持しながら、迅速なエッチング速度を可能にする石英チャンバーで生成されます。このユニットの超小型設計により、既存のツールセットに統合することができます。TOKYO ELECTRON TE 580は、幅広いプロセスの柔軟性と適応性を考慮して設計されています。反応イオンエッチング、スパッタエッチング、プラズマクリーニングなど、多種多様なプロセスバリエーションを提供しています。また、異なるエッチングガスを選択できるため、ユーザーは特定の用途に合わせてエッチングプロセスをカスタマイズできます。このツールは非常にユーザーフレンドリーであり、異なるエッチングパラメータに従って簡単にプログラムすることができます。また、TE 580は、プラズマ周波数、パワーレベル、ガス流量などのパラメータに関するリアルタイムフィードバックを提供する高度なユーザーインターフェイスを備えています。これにより、エッチング結果を最適化するために、エッチング設定を簡単に変更することができます。さらに、アセットの自動機能により、エッチングパターンの偏差に応じてエッチングパラメータを自動的に調整できます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON TE 580は、優れた均一性と精度を提供する高度で高効率な自動エッチャーです。これは、高度なプロセス柔軟性、積極的なエッチングレート、自動化された機能を提供する、さまざまなエッチングアプリケーションに最適です。このモデルは使いやすさのために設計されており、さまざまなエッチングプロジェクトにすばやく適応できます。