中古 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9137192 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580は、TEL Ltd。が設計・製造するエッチング/アッシャー装置です。このシステムは、フォトリソグラフィ、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、プラズマエッチングなど、半導体産業の用途向けに設計されています。このユニットには、マルチチャネルプラズマ源、シングルウェハアクチュエータ、およびプロセスチャンバー内の回転可能なサセプターが装備されています。TEL TE 580は信頼性が高く、高解像度パターンを迅速かつ正確に処理できるため、コストと納期を削減できます。TOKYO ELECTRON TE 580は、ハードウェア、ソフトウェア、プロセス技術を組み合わせた完全統合型マシンです。プロセスチャンバーにより、複数のウェーハを同時にエッチングできます。このツールにはパラメーター設定ウィンドウがあり、エッチングパラメータを迅速かつ正確に設定するための使いやすいグラフィカルインターフェイスがあります。TE 580は、従来のアッシャーシステムと比較して均一なパターンを可能にする回転式サセプターも備えています。TEL/TOKYO ELECTRON TE 580は、ドライエッチングとウェットエッチングの両方を行うことができ、マルチチャンネルプラズマ源は、効率的なプラズマ生成のために電子サイクロトロン共鳴（ECR）技術を使用しています。この資産は、さまざまな材料やアプリケーションのベースラインとプロセスレシピの最適化に大きな柔軟性を提供します。また、超高真空機能を搭載し、高アスペクト比DRIEやリモートプラズマエッチングなどの処理に最適です。TEL TE 580は、高い歩留まり、品質、パフォーマンスのための半導体業界の厳しい要件を満たすように設計されています。この装置には、再現可能なプロセスを保証する高度なプロセス制御機能が装備されています。このシステムは、温度、プラズマ電力、圧力制御、基板温度、イオン線量、イオンエネルギーなどのハイエンドのプロセスパラメータを制御することができます。また、東京エレクトロンTE 580には、歩留まりを最大化し、エッチング結果の変動を最小限に抑えるための詳細なプロセス解析ツールが搭載されています。要するに、TE 580は半導体産業のための信頼でき、強力なアッシャーユニットです。マルチチャネルプラズマソース、回転可能なサセプター、高度なプロセス制御機能により、精密かつ再現可能な高解像度エッチング処理に最適です。この機械の高真空およびプロセス解析機能は、優れた結果を一貫して保証します。